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FFU過濾單元的整體設計
FFU過濾單元的整體設計
FFU(Fan Filter Unit)是風機和過濾器的組合,也可稱為“自帶風機的過濾設備”。FFU通常安裝在潔凈室的送風末端,一般放置在吊裝的“干式”墊片密封龍骨框架上。FFU上面部分為風機模塊,下面部分為過濾器。根據(jù)潔凈度的要求,F(xiàn)FU過濾單元可為不同等級的高效(HEPA)或超高效(ULPA)過濾器,為潔凈室提供潔凈空氣。風機模塊除了要克服FFU下部高效過濾器的阻力,還要克服整個循環(huán)風所有通道部件的阻力,從而維持設定的運行風速。FFU系統(tǒng)具有設計施工簡便,風速調節(jié)靈活,潔凈區(qū)易于變更等特點,因此已成為工業(yè)潔凈室的流行系統(tǒng)形式之一
該機組設計整體靈活,便于與專用型吊頂骨架以及其他一些合適的骨架配合使用。當過濾器采用刀邊型框架時,這種機組也可用于液槽密封吊頂骨架,根據(jù)設計的規(guī)格,他可輕而易舉配合任何吊頂骨架,達到潔凈等級要求。外框可選用鋁質或不銹鋼,各具特色。采用這種機組,可以為潔凈室輸送高質量的空氣,而且空氣流通好。FFU過濾單元適合用于半導體、電子、平板顯示器和磁盤驅動器的廠家及光學、生物工業(yè)及其他對空氣中污染有嚴格控制要求的地方。
一般萬級無塵室所用的高效過濾器,它能對空氣中粒徑為0.3um的微粒子過濾效率達到99.99%,出風風速0.4m/s,*大不能有超過20KG以上的外力作用于過濾器上,以免破壞過濾器組織架構。
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